FFKM és un material de segellat d'alt rendiment. El seu excel·lent rendiment ha permès que la seva aplicació penetri en tot el sistema de fabricació de productes semiconductors. Entre ells, els anells de segellat FFKM són un dels principals consumibles necessaris per a la producció de circuits integrats.
l'estructura i les característiques de rendiment de FFKM
FFKM es copolimeritza per tetrafluoroetilè (TFE), perfluoroalquil vinil èter (PAVE) com a monòmers principals i una petita quantitat de monòmer de punt de cura (CSM). Com es mostra a la figura següent, tots els àtoms de carboni del polímer Els àtoms d'hidrogen del cautxú es substitueixen per àtoms de fluor, la qual cosa el converteix en un cautxú que no conté en absolut enllaços CH.
Principals característiques de rendiment de FFKM:
1) Propietats físiques
La densitat de FFKM és 1,9-2.0g/cm³. Les seves propietats mecàniques a la temperatura normal són properes a les del fluorur de vinilide (VDF) basat en fluorocautxú (FKM), però les seves propietats mecàniques a alta temperatura són millors que les del fluorrubber.
2) Resistència química
No hi ha àtoms d'hidrogen a la cadena molecular FFKM, i els enllaços CC estan bàsicament envoltats per una capa composta d'àtoms F, mostrant una forta inercia química i fent que el polímer sigui significativament resistent als productes químics.
3) Resistència a alta i baixa temperatura
La temperatura de funcionament de FFKM és generalment de 260 ~ 290 graus i es pot utilitzar de manera intermitent a altes temperatures de 316 graus. Com que s'introdueixen un gran nombre de grups -OCF3 a les cadenes ramificades de les molècules, es millora la flexibilitat de les molècules i la resistència a baixa temperatura del cautxú.
4) Resistència al plasma
En un entorn de plasma, presenta característiques de producte d'alta neteja i baixa precipitació, i pot suportar el bombardeig de plasma durant molt de temps.
Aplicacions de fFKM en semiconductors
En la fabricació de semiconductors, la fiabilitat dels segells elastomèrics és fonamental perquè les parades de producció per substituir els segells són extremadament costoses. Per evitar possibles riscos, els requisits de neteja i puresa dels segells són molt estrictes. Al mateix temps, els segells han de poder funcionar durant molt de temps en un entorn de pressió d'alta temperatura, buit elevat i gasos químics corrosius.
Pel que fa a les aplicacions de semiconductors, FFKM se centra principalment en:
1) Segell de gas: en el procés de fabricació de semiconductors, el processament i el transport de diversos gasos són essencials. L'anell O FFKM s'utilitza per segellar canonades, vàlvules i juntes de gas per assegurar-se que el gas no es filtra i mantenir l'estabilitat del procés.
2) Gravat i neteja: els passos de gravat i neteja en processos de semiconductors sovint impliquen l'ús de mitjans corrosius com àcids forts o àlcalis. L'anell O FFKM s'utilitza àmpliament en peces d'equips en contacte amb aquests mitjans, com ara cambres de gravat, dipòsits de neteja, etc. a causa de la seva excel·lent resistència a la corrosió.
3) Transport de líquids i productes químics: en la fabricació de semiconductors, cal transportar diversos líquids i productes químics, com ara solucions, dissolvents, líquids de neteja, etc. L'anell O FFKM es pot utilitzar per segellar components d'equips com canonades, vàlvules i bombes per garantir el lliurament segur dels mitjans.
4) Entorn d'alta temperatura: determinats passos del procés de semiconductors s'han de realitzar en un entorn d'alta temperatura, com ara tractament tèrmic, recuit, etc. Les anelles tòriques FFKM tenen una excel·lent resistència a les altes temperatures i poden mantenir la seva elasticitat i segellat. propietats a altes temperatures.
5) Tractament d'aigua ultrapura: en la fabricació de semiconductors, l'aigua ultrapura s'utilitza per netejar i purificar equips i materials. Les anelles tòriques FFKM s'utilitzen àmpliament per segellar equips de tractament d'aigua ultrapura per evitar l'entrada d'impureses i contaminants.
A causa de l'alt cost de les matèries primeres de cautxú FFKM, les condicions de treball on s'utilitzen habitualment els segells FFKM són extremadament dures. En aquestes dures condicions de treball, altres cautxús són propensos a la corrosió, inflor, dissolució, envelliment i enduriment, etc., provocant un error de segellat i, per tant, no poden complir els requisits de segellat. A causa de la seva excel·lent resistència a la corrosió i resistència a les altes temperatures, el cautxú FFKM no només pot complir els requisits de segellat de les dures condicions de treball, sinó que també pot augmentar la vida útil dels segells i reduir els costos de manteniment dels clients.
